经典的转子旋转式机械陀螺仪(性能卓越，在特殊应用中占据一席之地);基于光学原理的激光陀螺仪，或采用镜像闭环回路，或采用较长的盘绕光纤(性能很高，但受限于过大的重量和尺寸);是陀螺最为重要的指标，工程上常用一段时间采样平均值的标准差来衡量。但是平滑时间是不固定的，如果是光纤陀螺，平滑时间通常为10s,如果是激光陀螺，平滑时间通常为100s(注1),MEMS的
∪▽∪ 振动整流误差= 有震动下平均输出- 无振动下的平均输出。选用低振动整流误差的产品，可以在一定程度上降低载体对于减震措施的依赖程度，从而提高载体使用寿命我国的MEMS技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用于MEMS陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、复旦大学、哈工大等多家单位[10-15]，经过
∩﹏∩ MEMS陀螺仪的原理及应用案例分析Leon Foucault在1852年发明了世界首个陀螺仪，这种传统的机械式陀螺仪如图1所示。Foucault认为，利用固定位置上的旋转物体可以测量地球的旋转。在理论2.5 MEMS陀螺仪的选用2.环境要求温度范围要求，必须满足陀螺仪使用的极限温度。线加速度与冲击，必须满足陀螺仪极限温度振动条件，分为正弦振动、随机振动。
第四代谐振环陀螺产品采用了全新的MEMS加工技术，去除了陀螺内部的磁芯结构，通过电容激励、电容检测、修调等技术，使陀螺的性能、体积、功耗等得到大幅度提升。其器件特点是：a典型代表为核磁共振陀螺、原子干涉陀螺。其目标是实现高精度、高可靠、小型化和更广泛应用领域的导航系统，目前仍处于早期研究阶段。MEMS陀螺仪具有小型化、高
不像加速器与电子罗盘，陀螺仪不须借助任何如重力或磁场等的外在力量，能够自主性的发挥其功能。所以，从理论上讲只用陀螺仪是可以完成姿态导航的任务的。陀螺仪的特性就是高频特性好，1.2 射流微陀螺射流气体陀螺是利用强迫对流气体的气流束(层流)和敏感元件的热阻效应来测量角速率的。目前，采用MEMS技术制作的射流微陀螺并不多。报道的射流气体微陀螺主要由压电
