MEMS湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。5、MEMS生物传感器MEMS生MEMS惯性传感器则有可能完全补偿传感器的不精确性，因为它不存在上述干扰，并且不需要外部基础结构：无需卫星、磁场或相机，只需惯性。表2列出了主要的导航传感器技术及其优缺点
MEMS传感器用于惯性传感方面主要有加速度传感器和陀螺仪传感器，及其相关变形产品，如：碰撞传感器、侧翻传感器。一、加速度传感器1.工作原理：根据牛顿第二定律F=m×a,惯性力XJA1 高g 值冲击加速度计采用的MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权，其独特的内部结构，为传感器提供了可靠的过载保护、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要
因此本文主要针对MEMS压力传感器进行介绍。用途方面的考量由于结构不同，压力传感器可以分为测定绝对压力的绝压传感器、测定对大气的相对压力的表压传感器和4. MEMS环境传感器环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等，MSME温度传感器可用于任何需要温度检测的地方，MEMS湿度传感器已广泛应用于工控、气象、农业、矿山探测等行业。M
≥ω≤ MEMS TVOC气体传感器高灵敏低功耗空气质量传感器SMD1013B传感器SMD1013B 空气质量传感器(TVOC)是基于MEMS 工艺半导体材料开发的微型气体传感器，可用于检测不同场景下TVOC 气体含MEMS传感器经过四十多年的发展，目前已经广泛应用于汽车电子、医疗卫生、航空航天、太空卫星以及消费类电子
(｀▽′) MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。【MCU专题】复旦微电子FM33LG0xx开发板免费试用立即申请> 【新品MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度传感器可用于环境条件的检测，MEMS加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋
