MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散汽车电子MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制
ˋ▽ˊ MEMS湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。气体传感器应用广泛，但每种应用场景下都有不同的mems传感器主要应用场景1、医疗领域mems传感器可以被应用于微创胎儿心跳检验，检验胎儿心率是一项专业性较强的工作，因为胎儿心率迅速，在每分l20-160次中间，用传统式的听诊乃至仅
MEMS 产品中市场份额排名第二的是压力传感器，2020 年市场份额占比达到14.68%,主要得益于压力传感器在汽车、工业和消费品等领域的广泛应用。此外，受益于智能手机、智能无线耳机、MEMS传感器在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；MEMS传感器在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感
MEMS传感器可以用来测量运动员的日常训练，记录每一个动作，教练分析结果，反复比较，提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展，MEMS传感器的价格也会下降，可以目前汽车上的MEMS 传感器主要应用于发动机运行管理、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统、车辆监护和自诊断等方面。比如安全气囊中的汽车安全气囊感应器、悬架控制、
4. MEMS 麦克风在其整个使用寿命中均具有稳定的性能，而ECM麦克风可能会随着时间的推移而失去其原有的性种加工方法可以用于加工一些在特殊场合应用的微机械装置，如微型机器人、微型手术台等。下面主要介绍LIGA 和硅MEMS 技术。LIGA 技术：LIGA 技术是将深度X 射
